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半導(dǎo)體/液晶制造工業(yè)
防靜電自潤(rùn)滑涂層在半導(dǎo)體液晶制作行業(yè)應(yīng)用時(shí)，主要有如下優(yōu)點(diǎn)：
（1）涂層電阻率控制在1*106-1*109歐姆；
（2）摩擦系數(shù)低，保護(hù)對(duì)磨件無(wú)劃傷等不良現(xiàn)象；
（3）延長(zhǎng)基板使用壽命。
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